?在半導體裝置等中、適合用作負載鎖定室和搬送室以及搬送室和過(guò)程處理室之間的隔斷閥。
| 系列 | 使用壓力范圍（Pa） | 使用流體 | 門(mén)尺寸 （高×寬）（mm） | 動(dòng)作壓力 （MPa） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大氣壓～1×10-6 | 惰性氣體類(lèi)的真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
?在半導體裝置等中、適合用作負載鎖定室和搬送室以及搬送室和過(guò)程處理室之間的隔斷閥。系列使用壓力范圍（Pa）使用流體門(mén)尺寸（高寬）（mm）動(dòng)作壓力（MPa）XGT大氣壓～110-6惰性氣體類(lèi)的真空3222246236503360.45～0.6
?在半導體裝置等中、適合用作負載鎖定室和搬送室以及搬送室和過(guò)程處理室之間的隔斷閥。
| 系列 | 使用壓力范圍（Pa） | 使用流體 | 門(mén)尺寸 （高×寬）（mm） | 動(dòng)作壓力 （MPa） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大氣壓～1×10-6 | 惰性氣體類(lèi)的真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
